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芯片車間的潔凈度要求

發(fā)布時(shí)間：2020-09-30　閱讀：0次

芯片車間的潔凈度要求

近十多年來科學(xué)技術(shù)日新月異，對(duì)于新產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，同時(shí)對(duì)無塵凈化技術(shù)的設(shè)計(jì)和發(fā)展提出了更高的要求。萬級(jí)無塵車間在半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造等行業(yè)非常多見。電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)是一項(xiàng)綜合的技術(shù)，只有充分了解電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，做到設(shè)計(jì)合理，才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低，提高生產(chǎn)效率。

電子制造業(yè)萬級(jí)無塵車間的潔凈度等級(jí)要求高，風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，另外該類潔凈室對(duì)靜電要求嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房內(nèi)易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)【推薦使用溫濕度變送器實(shí)時(shí)監(jiān)測潔凈環(huán)境的溫濕度】，這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
1、萬級(jí)電子無塵車間參數(shù)要求換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次；100≥500次；

2、壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa；

3、平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s；

4、溫度：冬季＞16℃；夏季＜26℃；波動(dòng)±2℃；

5、濕度：45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

6、噪聲：≤65dB（A）；

7、照度：300LX；

8、新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10％－30％。

萬級(jí)凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣，將室內(nèi)的污染逐漸排出，來實(shí)現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng)，拌有回流或渦流，不同等級(jí)的凈化車間，主要是依靠單位時(shí)間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來實(shí)現(xiàn)。